MEMS单轴陀螺仪芯片利用作用在旋转物体上的科里奥利力。高Q值和相对灵敏度的压电单晶通过采用,虽然体积小,但在振动型中实现了最高的输入/输出灵敏度比。
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MEMS单轴陀螺仪芯片
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